Проходная камера стерилизации VHP состоит из основной камеры, внутренней стерилизационной полости для размещения продукции, генератора перекиси водорода, дозирующего устройства H₂O₂, осушителя полости, устройства разложения H₂O₂, нагревательного элемента, чистого вентилятора, вентилятора наддува, чистых воздуховодов, HEPA-фильтров и системы управления.